論文

基本情報

氏名 篠原　正典
氏名（カナ） シノハラ　マサノリ
氏名（英語） SHINOHARA MASANORI

タイトル

（研究ノート）Atomic Layer Epitaxy of AlAs Using Thermally Decomposed Gas Molecules

著者

H. Yokoyama,N. Inoue

単著・共著の別

共著

誌名

Appl. Phys. Lett.

出版社

 

全巻

 

総ページ数

 

巻

60

号

3

開始ページ

377

終了ページ

379

出版年月

1992/01

査読の有無

有り

招待の有無

 

記述言語

英語

掲載区分

 

掲載種別

研究論文（学術雑誌）

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概要

 

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